Ең қарапайым тілмен айтқанда, а вакуумдық көбелек клапаны таныс ширек айналымды клапанның өзгертілген нұсқасы, тек осы клапан төмен қысымда жұмыс істейтін жүйелер үшін арнайы жасалған. Оның барлық мақсаты - тіпті кішкентай ағып кету вакуум деңгейін бұзуы мүмкін орталарда газ ағынын басқару немесе толығымен бұғаттау.
Осыған байланысты, дизайн таза материалдарға, тығыз тығыздауға және жүйе жұмыс істеп тұрған кезде тұйықталатын газдарды шығармайтын компоненттерге бағытталған.
Бұл құрылғылар кәдімгі клапан сияқты суды немесе ауаны ұстап тұрудың орнына, қарапайым шаңсорғыш жағдайларынан бастап, камераны таза және тұрақты ұстау өте маңызды жоғары өнімділіктегі қондырғыларға дейін кез келген нәрсеге арналған. Олар ластануды азайтып, нәзік процестерге тәуелді қысым деңгейлерін ұстап тұру үшін қолданылады.
Неліктен стандартты клапандар вакуумдық жүйелерде жақсы жұмыс істемейді
Көпшілік көрген немесе қолданған кәдімгі көбелек клапаны. Бұл арзан, қарапайым және әдетте жалпы құбыр жүйелеріне арналған. Мәселе сол клапанды вакуум желісіне салуға тырысқанда пайда болады. Материалдар газ шығара бастайды, тығыздағыштар тартылып кетеді және клапан вакуумдық жүйе талап ететіндей қысымды ұстай алмайды.
Міне, сондықтан көбелек тәрізді вакуумдық клапандар пайда болды. Олар бірдей айналмалы диск идеясына негізделген, бірақ бөлшектері төмен қысымды физикаға сәйкес жаңартылған.
Вакуумда тіпті шаш сызығының саңылауы да ағып кету жолына айналады. Оқшаулау да тез болуы керек, сондықтан бұл клапандар тез ашылып-жабылатындай етіп жасалған. Толық ашылған кезде диск ағынды әрең жауып тастайды, бұл сорғы камераны әлдеқайда жылдам тарта алатынын білдіреді.
Шын мәнінде маңызды айырмашылықтар
Кәдімгі клапан мен вакуумға жарамды клапанның арасындағы нақты айырмашылық материалдарда және тығыздағыш беттердің қалай жасалғанында жасырылған.
Газдануды бақылау
Вакуумда кейбір пластмассалар, майлар және кәдімгі резеңкелер ішінде қалып қойған газдарды шығарады. Бұл камераны бірден ластайды.
Сонымен, өндірушілер тот баспайтын болат пен газдың өте төмен шығарылуына тексерілген арнайы тығыздағыш материалдарды пайдаланады. Кейбір құрылғылар тіпті эластомерлерді толығымен жояды және ... металл тығыздағыштар оның орнына.
Тығыз тығыздауға қол жеткізу
Шаңсорғышты ұстап тұру бүкіл атмосфераның ішке қарай итерілуіне қарсы күресуді білдіреді. Мұны шешу үшін клапан жасаушылар арнайы капот тығыздағыштарын, тығыз өңдеу төзімділіктерін және кейде қос сақиналы конструкцияларды пайдаланады. Мақсат қарапайым: саңылау қаншалықты кішкентай болса да, газдың ішке кіріп кетпеуін қамтамасыз ету.
Жоғары вакуумды көбелек клапанына жақынырақ шолу
Барлық вакуумдық жүйелер бірдей емес. Қарапайым орау машинасы ғылыми құралға қарағанда әлдеқайда аз дәлдікті қажет етеді.
Жоғары вакуумды көбелек клапаны қысым өте аз сандарға дейін, кейде 1 × 10⁻⁷ Торр шамасында төмендеуі мүмкін вакуумның терең деңгейлеріне арналған. Бұл кезде беттің кедір-бұдырлығы, тығыздағыш материалдары және қосылым түрлері өте маңызды.
Бұл клапандарда ISO, KF немесе CF фланецтерін жиі кездестіресіз, себебі олар терең вакуумда тығыз ұсталады. Әсіресе CF фланецтері өте берік металдан металға тығыздағыш жасау үшін деформацияланатын мыс төсемдерге негізделген.
Бұл клапандар жиі қолданылатын жерлер
Көптеген жоғары технологиялық процестер тұрақты вакуумға негізделген, сондықтан бұл клапандар бірнеше салада кездеседі:
- Жартылай өткізгіштерді жасау оларды чип өндірісі кезінде газ ағынын басқара отырып, технологиялық камераларды ластанудан тазарту үшін пайдаланады.
- Зерттеу нысандары электронды микроскоптар, масс-спектрометрлер және вакуумдық пештер сияқты жабдықтар үшін оларға тәуелді болыңыз. Бұл қондырғылар тұрақты вакуум деңгейлерін қажет етеді, әйтпесе тәжірибелер сәтсіз аяқталады.
Неліктен көптеген инженерлер вакуумдық көбелек дизайнын таңдайды
Инженерлер көбінесе осы клапан конструкциясын таңдауының бір себебі - толық ашылған кезде пайда болатын тегіс, төмен шектеулі жол. Жоғары өткізгіштік сорғының қажетті вакуум деңгейіне тезірек жетуіне көмектеседі. Сондай-ақ, клапандар ықшам жабдыққа орнату қиынырақ және көлемді болуы мүмкін қақпақ клапаны сияқты нәрсеге қарағанда аз орын алады.
Тағы бір артықшылығы - құны. Құрылымы мамандандырылған болса да, вакуумдық көбелек тәрізді клапан әдетте ұқсас өлшемдегі вакуумдық клапанға қарағанда үнемдірек. Есте сақтау керек жалғыз нәрсе - айналмалы диск әрқашан жүйе арқылы қозғалатын кез келген газға ұшырайды, сондықтан егер орта коррозиялық немесе лас болса, материалды таңдау әлдеқайда маңызды болады.
Ұзақ мерзімді сапада материалдардың рөлі
Әдетте 304 немесе 316 маркалы тот баспайтын болат коррозияға төзімді және газ шығаруы төмен болғандықтан стандарт болып табылады. Орташа деңгейдегі вакуумдық қолдану үшін жоғары сапалы FKM-нен жасалған тығыздағыштар кең таралған.
Жүйені тереңірек қазу қажет болған кезде, әсіресе жабдықты пісіру циклі кезінде қыздыру қажет болса, эластомерлер жеткіліксіз болуы мүмкін. Мұндай жағдайларда толығымен металл тығыздағыштар ең сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді.
Бұл орта вакуумдық және терең вакуумдық клапан дизайнының арасындағы ең үлкен айырмашылықтардың бірі: вакуум неғұрлым терең болса, әрбір материалдың төмен қысым мен жоғары температурада қалай әрекет ететініне соғұрлым көп көңіл бөлінеді.
